칠러

유니셈(036200)은 반도체 공정에서 발생하는 유해가스를 정화하는 스크러버와 공정 온도·냉각을 담당하는 칠러를 공급하는 장비 업체로, 삼성전자·SK하이닉스 등에 납품하며 국산 장비 중 상위 점유율을 확보한 회사다.